专门设计的水平减震机构,隔振基础采用二层气囊隔离,在各个方向上都
提供了优异的减振性能,减振器自身振动频率非常低。
2.稳定轻松调节,稳定可靠结构十分紧凑
3.自动水平,自动充气,全部气动执行元件,采用原装德国FESTO产品
4.静音空气机气源,噪声低(小于65分贝)
5.适用于振动频率要求高的实验环境
主要参数:
1.平面不大于0.10mm/㎡
2.表面粗糙度小于0.8um
3.固有频率垂直1.0Hz~1.8Hz,水平1.0Hz~1.8Hz
4.振幅不大于1.2um
5.重复定位精度+0.05mm